软型密封垫
以氟橡胶为材料的隔离膜片电磁阀，其最易发生的故障是异物或流体结晶粒等被混入而损伤密封部发生泄漏现象。
高砂（TAKASAGO）使用具有优质特殊弹性的全氟化橡胶（Perfluoro-elastomer）安装于密封部，尽量控制密封部的损伤专配了备选零件，软性密封垫(Soft-seal)。
全氟化橡胶的耐腐蚀性与氟橡胶相匹敌，在分析领域及半导体领域的药液使用方面，已在国际上获得很高的评价。
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